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投资动态 I 格科微上海自贸区临港新片区工厂顺利搬入ASML先进ArF光刻机

2022-03-28

     2020年3月5日,格科微电子(香港)美高梅网站与上海自贸区临港新片区管委会签订合作协议,拟在新片区投资建设“12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目”。2020年7月,格科半导体12英寸特色工艺线项目在临港新片区2020年重点产业项目集中开工仪式上开工。2021年9月24日,格科微在投资者互动平台表示,公司12英寸CIS集成电路特色工艺研发与产业化项目进展顺利,主体建筑已于2021年8月16日封顶。
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      从2022年3月7日开始,格科半导体顺利搬入光刻机主要厂商之一——ASML的相关设备。3月24日,格科半导体再次迎来了重要阶段性成果,成功实现整套ASML光刻机中的关键设备——先进ArF光刻机的搬入。

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      目前,格科半导体洁净室已按计划分阶段顺利验收,相关厂务系统配备进展顺利,共有六十一台设备已经搬入。未来,外延、蚀刻、薄膜、清洗等相关设备仍会陆续搬入。该项目总投资约155亿元,预计2024年竣工,将建设一座12英寸、月产6万片的芯片厂,建造12英寸晶圆CMOS图像传感芯片特殊工艺制造生产线。


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